Meiden純臭氧發(fā)生器是液化和儲(chǔ)存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平，它可以用作半導(dǎo)體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見(jiàn)，本機(jī)具有足夠的安全措施。

此外，該單元是與日本國(guó)立先進(jìn)工業(yè)科學(xué)技術(shù)研究所共同開(kāi)發(fā)的。
 

參數(shù)

積蓄處

臭氧反應(yīng)室數(shù)量：1

最大臭氧積蓄量*¹ [cc*²] ：8000/裝置  8000/反應(yīng)室   

液體臭氧濃度[％] ? 100 

供給處

連續(xù)供給能力[sccm]：無(wú)

最大供給能力[sccm] ：100  

臭氧氣體濃度[％] ： 90 

最大供給時(shí)間[分]*³  ：80  

國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)SEMI-S2, UL, NFPA, CE ：符合

特征：

將臭氧生成裝置產(chǎn)生的臭氧氣體極度低溫液化后，生成100%濃度臭氧

可以持續(xù)供給100%濃度臭氧

安全對(duì)策

基于安全裝置設(shè)計(jì)的考慮，保持高純度?減壓狀態(tài)，使臭氧不產(chǎn)生危險(xiǎn)反應(yīng)。

安全設(shè)計(jì)

• 緊急時(shí)的防爆設(shè)計(jì)

• 停電，異常時(shí)通過(guò)安全系統(tǒng)控制溫度和壓力。

信賴性

• 停電時(shí)、先稀釋臭氧濃度，然后將裝置內(nèi)殘留臭氧緊急排出。

• 異常發(fā)生時(shí)可以通過(guò)EMO（緊急停止）開(kāi)關(guān)來(lái)手動(dòng)停止裝置。（為防止臭氧爆炸，冷凍機(jī)具有持續(xù)運(yùn)行功能）

• 液化反應(yīng)室收納于真空斷熱的SUS容器中，萬(wàn)一臭氧發(fā)生爆炸也不會(huì)造成對(duì)外部機(jī)械損傷。

• 液態(tài)臭氧冷卻裝置具有足夠的容積來(lái)容納液態(tài)臭氧，減少由震動(dòng)引起的急速氣化爆炸風(fēng)險(xiǎn)。

標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證

• 符合國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2、UL、NFPA、CE 等）

品質(zhì)保證

• 由第三方認(rèn)證機(jī)關(guān)通過(guò)示蹤氣體實(shí)驗(yàn)認(rèn)證具有防止氣體泄露的安全性。

OER *工藝技術(shù)
通過(guò)將高濃度臭氧和乙烯混合，成功地生成了大量OH自由基。

外形圖

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