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熱門關鍵詞: In-situ洗凈 碳素纖維改質(zhì) 薄膜上常溫成膜 洗凈/去除(灰化) 半導體襯底成膜
半導體制造工程(高離子注入)的光刻膠灰化應用案例



效果
室溫下高速度灰化
可以灰化各種半導體光刻膠
在高離子注入后灰化時不產(chǎn)生光刻膠爆裂
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